机译:氮化硅/ SiO 2封端的(100)硅上的LPCVD多晶硅膜中的热诱导结构电导率
机译:用于MEMS的LPCVD多晶硅和氮化硅薄膜的合成与表征
机译:用于MEMS的LPCVD多晶硅和氮化硅薄膜的合成与表征
机译:LPCVD氧化氮化硅多晶硅和热氧化膜中空间厚度变化的统计多批表征
机译:对碳化硅和氮化硅复合材料热扩散性的微观结构和组成效应(陶瓷,导热性,脉冲法,激光闪光)
机译:多晶硅薄膜热扩散率的原位测试
机译:用氮化硅覆盖层提高铝诱导多晶硅薄膜的微观结构和电性能
机译:应变对氮化硅薄膜导热系数的影响